GOLAY

作品数：89被引量：269H指数：8
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键合技术在微机械Golay-cell红外探测器中的应用被引量：2
《仪器仪表学报》2006年第8期936-939,共4页赵林林 徐晨 赵慧 霍文晓 沈光地 
北京市教委(KM200310005009)资助项目
介绍多种硅片键合技术及其在基于高莱盒(Golay-cell)原理的微机械红外探测器中的应用。对多种键合方法在该器件中的实验结果进行比较,确定了现阶段最优的键合方法,即采用局部电场屏蔽方法的阳极键合方法,键合成功率在90%以上,并初步实...
关键词：微电子机械系统 高菜盒 红外探测器 键合 
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