IRFPA

作品数：116被引量：344H指数：10
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相关作者：袁祥辉刘上乾王炳健金伟其程瑶更多>>
相关机构：中国科学院西安电子科技大学北京理工大学重庆大学更多>>
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晶圆级封装中硅基盖帽的湿法腐蚀工艺被引量：1
《微纳电子技术》2020年第6期498-502,共5页吴鹏 郭杰 袁俊 李志华 黎秉哲 孙丽存 
国家自然科学基金资助项目(61774130,61705192)。
对于晶圆级封装中硅基盖帽的制备工艺,采用NaOH腐蚀体系对Si〈100〉衬底进行湿法深腐蚀,研究了腐蚀液质量分数、添加剂添加量及腐蚀温度对腐蚀速率和形貌的影响。针对深腐蚀中掩膜易脱落的缺点,提出了一种先用等离子体增强化学气相沉积(...
关键词：红外焦平面阵列(IRFPA) 晶圆级封装 湿法腐蚀 腐蚀速率 掩膜 
非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化（英文）被引量：2
《微纳电子技术》2018年第9期617-624,共8页张强 刘瑞文 吕文龙 侯影 魏德波 刘超 薛惠琼 傅剑宇 王玮冰 
National Natural Science Foundation of China(61601455,61335008);National High-Tech R&D Program of China(863 Program)(2015AA042605);Leading Cooperation Team Between Chinese Academy of Science and Peking University(XMXX201200019933)
灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列（IRFPA）的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数（VTC）对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结...
关键词：电压温度系数(VTC) PN结二极管 红外焦平面阵列(IRFPA) 灵敏度 微电子机械系统(MEMS) 
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