MOS2薄膜

作品数：28被引量：112H指数：6
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相关期刊：《无机化学学报》《摩擦学学报（中英文）》《表面技术》《发光学报》更多>>
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不同衬底上层状MoS2薄膜制备及应用的研究进展被引量：2
《半导体技术》2020年第10期737-747,759,共12页陶化文 黄玲琴 朱靖 
国家自然科学基金资助项目(61604063,11547136);江苏师范大学研究生科研创新计划项目(2020XKT078)。
二维层状MoS2薄膜具有超高的光响应度、高导电特性、良好的光学透明度以及优异的机械性能,是制造多功能和高性能光电探测器、传感器等最理想的半导体材料之一。在不同衬底上制备的MoS2薄膜性质有所差异,其构成的异质结性能也各具特色。...
关键词：二维层状MoS2 GAN 蓝宝石 SiC 化学气相沉积(CVD)法 高温热分解法 异质结 
利用射频磁控溅射法制备多层MoS2薄膜
《半导体技术》2020年第4期280-286,311,共8页滕世豹 杨瑞霞 兰飞飞 陈春梅 田树盛 孙小婷 刘海萍 
国家自然科学基金资助项目(61774054)。
利用射频磁控溅射法结合退火工艺制备了多层结构的MoS2薄膜。优化溅射功率和工作气压条件,在溅射功率为30 W、工作气压为1.0 Pa条件下制备了致密度良好的MoS2薄膜,X射线衍射测量结果表明这种原生的薄膜是非晶态的。对原生的MoS2薄膜在...
关键词：MoS2 射频磁控溅射 退火温度 多层薄膜 溅射功率 工作气压 
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