超高纯

作品数：155被引量：199H指数：7
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上海新BB65—45nm芯片铜互连超高纯电镀液及添加剂研发
《集成电路应用》2016年第2期44-44,共1页
上海新阳承担的“65-45nm芯片铜互连超高纯电镀液及添加剂研发和产业化”项目正式验收会举行。会议认为，该项目完成了任务合同书规定的研发内容，开发了面向65-45nm先进铜互连用超高纯电镀液（VMS）、TSV电镀液以及相关芯片铜互连超高...
关键词：电镀添加剂 铜互连 电镀液 超高纯 芯片 研发 上海 电镀技术 
SWAGELOK无O形圈超高纯含氟聚合物止回阀系列新增中型阀体
《集成电路应用》2005年第11期18-18,共1页
致力于为全球半导体制造行业开发和制造流体系统元件的世伟洛克半导体服务公司Swagelok（世伟洛克），日前发布的CHP系列无O形密封圈超高纯含氟聚合物止回阀产品新增中型阀体平台，以便在最大限度提高流量的同时尽量降低压降。这一中型...
关键词：含氟聚合物 止回阀 超高纯 阀体 中型 O形圈 制造行业 O形密封圈 服务公司 系统元件 
上海诞生超高纯微电子化学品企业
《集成电路应用》2004年第9期22-22,共1页
上海华谊集团和台湾联仕电子化学材料股份有限公司日前合资成立“上海华谊微电子材料有限公司”。该合资公司投资总额超过1．7亿元，主要从事集成电路生产用超高纯化学品，一期工程7个品种年产1．5万吨，将在明年供货。
关键词：企业 上海 化学品 化学材料 合资公司 供货 投资总额 微电子材料 集成电路生产 
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