云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 超浅结

超浅结: 作品数：24被引量：13H指数：2; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：严利人周卫黄如李超波刘朋更多>>; 相关机构：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司中国科学院微电子研究所上海华力微电子有限公司清华大学更多>>; 相关期刊：《质谱学报》《微电子学》《中国集成电路》《电子科技文摘》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家教育部博士点基金天津市高等学校科技发展基金计划项目更多>>

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深亚微米IC超浅结的SIMS表征: 《质谱学报》2005年第z1期13-14,共2页瞿欣王家楫; Secondary ion mass spectrometry (SIMS) is a standard technique for characterization of dopant distribution in semiconductor industry. In the ultra-shallow junction (USJ) application, the interested depth scale was ext...; 关键词：SIMS ULTRA-SHALLOW JUNCTION LOW-ENERGY ion IMPLANT