纯化技术

作品数：565被引量：1509H指数：16
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电子特气的合成与纯化技术研究进展被引量：3
《低温与特气》2023年第1期1-5,46,共6页何红振 刘圆梦 张金彪 宋新巍 许福胜 
郑洛新自创区产业集群专项(201200211600)。
电子特气是电子工业中不可或缺的基础性支撑材料,被誉为电子行业的“血液”和“粮食”,电子特气通常对纯度要求高,一般在5N级,部分品种的纯度要求6N级甚至更高。因此,电子特气的关键制备技术不仅仅是合成技术,还包括纯化技术。对电子特...
关键词：电子特气 合成 纯化 
砷烷的纯化技术研究进展
《低温与特气》2022年第3期9-13,共5页刘英杰 景显东 赵健 常琳 王雅婷 
砷烷是发光二极管、超大规模集成电路、GaAs、GaAsP生长,N型硅外延、扩散、离子注入掺杂等不可缺少的重要原料,因此需要有极高的纯度。主要概述了砷烷常用的纯化方法,包括吸附法、低温冷冻/精馏法、膜分离法等。
关键词：砷烷 纯化 应用进展 
氯气纯化技术研究综述
《低温与特气》2020年第5期6-10,共5页韩正 
介绍了氯气的基本性质和高纯氯气的应用领域,综述了工业氯气纯化技术的研究概况,展望了国内氯气纯化技术的发展。
关键词：氯气 纯化 精馏 吸附 
八氟环丁烷的纯化技术研究进展被引量：1
《低温与特气》2019年第1期1-5,共5页缪光武 张金柯 白占旗 何双材 胡欣 曾群 杜肖宾 刘武灿 张波 
随着电子工业的迅速发展,八氟环丁烷作为常用的半导体工艺蚀刻或清洗气体,其需求量日益增加,对其纯度要求也越来越苛刻。总结了现有应用最为广泛的四种八氟环丁烷纯化技术:精馏技术、吸附技术、化学转化法、膜分离技术,分析四种纯化技...
关键词：八氟环丁烷 纯化技术 电子气体 
三氟碘甲烷实现量产
《低温与特气》2018年第3期53-53,共1页
一种名为三氟碘甲烷（CF3I）的含氟化合物，日前在北京宇极科技发展有限公司实现量产。三氟碘甲烷的合成、生产、纯化技术过去一直受控于国外，北京宇极公司依托其氟化工研发团队，开发出一条过程安全、适于工业化的生产线路。
关键词：三氟碘甲烷 含氟化合物 科技发展 纯化技术 氟化工 工业化 北京 生产 
碳酰氟研究的最新进展被引量：2
《低温与特气》2018年第1期4-9,共6页柴华 李峰 赵新堂 王民涛 
碳酰氟是一种环保性能优良、最具潜力的半导体设备清洗和蚀刻材料。作为电子气体的新宠,其制备方法、反应设备、纯化技术、应用研究等被业界广泛关注。
关键词：碳酰氟 制备技术 反应设备 纯化技术 应用研究 专利分析 
浅谈电子级八氟环丁烷纯化技术被引量：5
《低温与特气》2014年第6期28-30,共3页陈艳珊 廖恒易 
对现有八氟环丁烷的用途和纯化工艺进行简述,并介绍了公司自主研发的纯化工艺,采用精馏-吸附相结合的工艺,产品符合半导体行业使用要求。
关键词：八氟环丁烷 纯化 精馏吸附 
BOC开发出光导纤维用系统
《低温与特气》2004年第3期31-31,共1页梁玉 
关键词：BOC 光导纤维 氯纯化技术 纯化系统 
对高纯度硅烷中气态杂质和金属杂质的纯化技术和分析方法
《低温与特气》1996年第3期43-49,54,共8页Tayl.,PA 李承耀 
对高纯度硅烷中气态杂质和金属杂质的纯化技术和分析方法ＰａｔｒｉｃｋＡＴａｙｌｏｒ半导体制造商已经长期用硅烷制成硅的薄膜或者硅化合物。将来更高集成度的和更复杂的集成电路，以及如光生伏打电池等新器件，都要求硅烷有非常高的...
关键词：硅烷 气态杂质 金属杂质 纯化 
我国工业六氟化硫纯化技术近况及改进被引量：1
《低温与特气》1994年第1期44-47,共4页王景儒 
重点介绍了六氟化硫中可水解氯化物杂质气体的去除方法及其干燥吸附剂的选择，并对我国六氯化硫气体的纯化技术提出了改进建议。
关键词：六氟化硫 提纯 特种气体 
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