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作品数:8被引量:5H指数:1
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相关领域:电子电信机械工程理学更多>>
相关作者:李艳秋张飞崔立红黄国胜刘明更多>>
相关机构:中国科学院复旦大学中国科学院微电子研究所中国科学院研究生院更多>>
相关期刊:《微细加工技术》《中国集成电路》《电子工业专用设备》《Journal of Semiconductors》更多>>
相关基金:国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划中国科学院“百人计划”国家自然科学基金更多>>
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李艳秋
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张飞
中国科学院电工研究...
崔立红
复旦大学
黄国胜
中国科学院电工研究...
刘明
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谢常青
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