PROLITH

作品数：8被引量：5H指数：1
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相关领域：电子电信机械工程理学更多>>
相关作者：李艳秋张飞崔立红黄国胜刘明更多>>
相关机构：中国科学院复旦大学中国科学院微电子研究所中国科学院研究生院更多>>
相关期刊：《微细加工技术》《中国集成电路》《电子工业专用设备》《Journal of Semiconductors》更多>>
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国家重点基础研究发展计划
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作品数：273389被引量：1709417H指数：255
相关主题：数值模拟 英文 力学性能 气候变化 影响因素
相关领域：天文地球 医药卫生 理学 农业科学 自动化与计算机技术
国家重点基础研究发展计划(2003CB716204)
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作品数：75被引量：183H指数：6
相关主题：微细电火花加工 电子传输 富勒烯 分子 电火花线切割加工
相关领域：理学 电子电信 金属学及工艺 机械工程 自动化与计算机技术
国家高技术研究发展计划
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作品数：254143被引量：1396218H指数：194
相关主题：数值模拟 水稻 仿真 遗传算法 机器人
相关领域：自动化与计算机技术 农业科学 电子电信 医药卫生 理学
中国科学院“百人计划”(20011215)
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作品数：2
相关主题：浸没式ARF光刻 偏振 杂散光 L形 PROLITH
相关领域：电子电信
国家自然科学基金
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作品数：3164197被引量：8349380H指数：432
相关主题：数值模拟 英文 影响因素 稳定性 神经网络
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
国家自然科学基金(60376020)
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作品数：4被引量：9H指数：2
相关主题：分辨率 光刻 移相掩模 离轴照明 移相掩模技术
相关领域：电子电信
中国科学院“百人计划”
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作品数：6574被引量：82467H指数：94
相关主题：青藏高原 土壤 数值模拟 气候变化 英文
相关领域：天文地球 理学 农业科学 生物学 环境科学与工程
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