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作品数：8被引量：5H指数：1
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相关领域：电子电信机械工程理学更多>>
相关作者：李艳秋张飞崔立红黄国胜刘明更多>>
相关机构：中国科学院复旦大学中国科学院微电子研究所中国科学院研究生院更多>>
相关期刊：《微细加工技术》《中国集成电路》《电子工业专用设备》《Journal of Semiconductors》更多>>
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《微细加工技术》
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作品数：1244被引量：2063H指数：14
issn：1003-8213cn：43-1140/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
发文主题：离子注入 电子束曝光机 MEMS 光刻 金刚石
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术 机械工程
《中国集成电路》
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作品数：11505被引量：3741H指数：13
issn：1681-5289cn：11-5209/TN
主办单位：中国半导体行业协会
发文主题：半导体 集成电路 芯片 集成电路产业 微电子
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《电子工业专用设备》
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作品数：6615被引量：4738H指数：18
issn：1004-4507cn：62-1077/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
发文主题：半导体 半导体设备 集成电路 半导体产业 晶圆
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《Journal of Semiconductors》
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作品数：9341被引量：11403H指数：23
issn：1674-4926cn：11-5781/TN
主办单位：中国电子学会;中国科学院半导体研究所
发文主题：CMOS 硅 GAAS 砷化镓 GAN
发文领域：电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术
《电子与封装》
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作品数：4428被引量：6040H指数：21
issn：1681-1070cn：32-1709/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第五十八研究所
发文主题：封装 可靠性 FPGA 封装技术 集成电路
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 金属学及工艺
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