云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 等离子体蚀刻

等离子体蚀刻: 作品数：49被引量：3H指数：1; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：李泽宇谢安彭平刘秀红朱兴华更多>>; 相关机构：东京毅力科创株式会社朗姆研究公司SPTS科技有限公司兰姆研究有限公司更多>>; 相关期刊：《集成电路应用》《等离子体应用技术快报》《化工新型材料》《电子科技文摘》更多>>; 相关基金：江苏省高校自然科学研究项目国家教育部博士点基金湖北省教育厅重点项目更多>>

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国家教育部博士点基金: 作品数：127947被引量：821492H指数：164; 相关主题：数值模拟遗传算法神经网络稳定性仿真; 相关领域：理学自动化与计算机技术医药卫生农业科学经济管理

湖北省教育厅重点项目: 作品数：2420被引量：11000H指数：34; 相关主题：硒 META分析数值模拟沼气赋存形态; 相关领域：理学医药卫生农业科学自动化与计算机技术经济管理

江苏省高校自然科学研究项目(02KJB510005): 作品数：29被引量：106H指数：6; 相关主题：超大规模集成电路 BICMOS 集成电路内建自测试系统芯片; 相关领域：电子电信自动化与计算机技术经济管理轻工技术与工程

江苏省高校自然科学研究项目: 作品数：24079被引量：118464H指数：72; 相关主题：数值模拟性能研究无线传感器网络遗传算法小鼠; 相关领域：自动化与计算机技术医药卫生理学农业科学电子电信

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