等离子体蚀刻

作品数：49被引量：3H指数：1
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《等离子体应用技术快报》
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作品数：864被引量：24H指数：2
主办单位：核工业西南物理研究院
发文主题：等离子体 等离子体源 离子植入 表面改性 离子束
发文领域：理学 电子电信 金属学及工艺 一般工业技术 核科学技术
《半导体信息》
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作品数：6037被引量：189H指数：3
主办单位：中国半导体行业协会分立器件分会；中国电子科技集团公司第五十五研究所
发文主题：半导体市场 半导体 GAN 氮化镓 SIC
发文领域：经济管理 电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术
《集成电路应用》
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作品数：16962被引量：14179H指数：18
issn：1674-2583cn：31-1325/TN
主办单位：上海贝岭股份有限公司
发文主题：集成电路 大数据 半导体 控制技术 技术应用
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 经济管理 文化科学
《中国激光》
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作品数：14817被引量：55560H指数：49
issn：0258-7025cn：31-1339/TN
主办单位：中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所
发文主题：激光技术 激光器 激光 光纤光学 激光光学
发文领域：电子电信 理学 机械工程 金属学及工艺 自动化与计算机技术
《电子工业专用设备》
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作品数：6615被引量：4738H指数：18
issn：1004-4507cn：62-1077/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
发文主题：半导体 半导体设备 集成电路 半导体产业 晶圆
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《电子科技文摘》
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作品数：10413被引量：38H指数：2
issn：1009-0851cn：11-4388/TN
主办单位：信息产业部电子科学技术情报研究所
发文主题：会议录 计算机工程 电视技术 电子技术应用 PROCEEDINGS
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术 经济管理
《电子电路与贴装》
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作品数：1505被引量：119H指数：4
曾用名：印制电路与贴装
issn：1683-8807
主办单位：中国电子学会生产技术学分会；信息产业部珠三角电子行业职业技术能鉴定培训中心；深圳市电子商会；香港盈拓科技咨询服务有限公司
发文主题：PCB 印制电路 印制电路板 印制板 表面贴装
发文领域：电子电信 经济管理 轻工技术与工程 化学工程 环境科学与工程
《半导体技术》
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作品数：8096被引量：10828H指数：22
issn：1003-353Xcn：13-1109/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：集成电路 半导体 硅 可靠性 半导体器件
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 理学
《Bulletin of the Chinese Academy of Sciences》
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作品数：3342被引量：226H指数：6
issn：1003-3572cn：11-2723/N
主办单位：中国科学院
发文主题：CAS NEW IN_CHINA S&T RESEARCH
发文领域：文化科学 天文地球 生物学 理学 医药卫生
《光机电信息》
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作品数：5679被引量：2379H指数：16
曾用名：光机电世界；光机情报
issn：1007-1180cn：22-1250/TH
主办单位：中国光学学会；长春光学精密机械研究所
发文主题：激光 激光器 激光技术 光电技术 半导体激光器
发文领域：电子电信 机械工程 自动化与计算机技术 经济管理 理学
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