化学机械全局平面化

作品数：7被引量：8H指数：2
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河北省自然科学基金
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作品数：44241被引量：206181H指数：77
相关主题：数值模拟 故障诊断 力学性能 小麦 神经网络
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 农业科学 电气工程
河北省自然科学基金(599041)
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作品数：2被引量：6H指数：2
相关主题：化学机械全局平面化 CMP 后表面 活性剂 插塞
相关领域：电子电信
河北省自然科学基金(502029)
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作品数：7被引量：22H指数：3
相关主题：化学机械抛光 抛光液 CMP ULSI 钽
相关领域：电子电信 金属学及工艺
国家自然科学基金
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作品数：3164197被引量：8349380H指数：432
相关主题：数值模拟 英文 影响因素 稳定性 神经网络
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
国家自然科学基金(60176033)
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作品数：9被引量：33H指数：4
相关主题：化学机械抛光 CMP ULSI 抛光液 钽
相关领域：电子电信 一般工业技术 金属学及工艺
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