疏敏

作品数:2被引量:1H指数:1
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供职机构:华东理工大学机械与动力工程学院更多>>
发文主题:磁控溅射热电薄膜SEEBECK系数热电电导率更多>>
发文领域:一般工业技术电子电信理学更多>>
发文期刊:《材料导报》《功能材料与器件学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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多层复合Bi/Sb纳米薄膜的制备及热电性能研究被引量:1
《材料导报》2012年第2期98-100,111,共4页代晶晶 王学生 疏敏 戚学贵 
国家自然科学基金(50706012)
选取单晶硅作为隔热衬底,Bi和Sb材料作为靶材,采用磁控溅射技术溅射制备多层复合纳米薄膜。研究了当固定调制周期为40nm,Bi和Sb的调制比分别为1∶1、3∶2、4∶1和1∶4时,Bi/Sb超晶格复合薄膜的See-beck系数、电导率和功率因子在160~250...
关键词:磁控溅射 纳米薄膜 Bi/Sb SEEBECK系数 电导率 功率因子 
Zn/Sb复合薄膜材料的制备及其在低温下的热电性能研究
《功能材料与器件学报》2011年第6期538-542,共5页疏敏 王学生 代晶晶 戚学贵 
国家自然科学基金(编号:50706012)
采用磁控溅射的方法,两个单靶依次在Si(100)基底上循环5次溅射制备了Zn/Sb多层复合纳米薄膜,并研究了固定调制周期为40nm时,Zn和Sb的调制比分别为1:1、3:2和4:1的三种情况下,Zn/Sb复合薄膜的Seebeck系数、电导率和功率因子在160K-250K...
关键词:Zn/Sb薄膜 磁控溅射 SEEBECK系数 电导率 
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