肖海波

作品数：2被引量：6H指数：2
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供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文主题：硅薄膜透明电极太阳电池磁控溅射硅太阳电池更多>>
发文领域：电气工程一般工业技术理学交通运输工程更多>>
发文期刊：《物理学报》《硅酸盐学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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非晶硅太阳能电池背反ZnO:Al薄膜制备被引量：4
《硅酸盐学报》2010年第1期46-49,共4页肖海波 曾湘波 刘石勇 彭文博 石明吉 张长沙 
国家973计划(2006CB202604);国家自然科学基金(60576036)资助项目
以ZnO:Al(2%Al2O3,质量分数)为靶材,用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备ZnO:Al薄膜,分析了各沉积参数对薄膜光电性能的影响。结果表明:溅射功率对ZnO:Al的透过率影响最大,其次是反应腔室压力,而衬底温度对透过率几乎没有影响。ZnO:Al的电...
关键词：掺铝氧化锌薄膜 背反电极 非晶硅太阳能电池 磁控溅射 
微晶硅薄膜带隙态及微结构的研究被引量：2
《物理学报》2009年第8期5716-5720,共5页彭文博 刘石勇 肖海波 张长沙 石明吉 曾湘波 徐艳月 孔光临 俞育德 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB202604);国家自然科学基金(批准号:60576036)资助的课题~~
研究了氢化微晶硅薄膜费米能级以上的带隙态密度分布与薄膜微结构关系.采用拉曼谱和红外谱表征不同H稀释比制备的微晶硅薄膜的微结构.薄膜带隙态密度分布由调制光电流的相移分析技术测得.采用三相模型(非晶相、晶相和界面相)分析了薄膜...
关键词：带隙态 界面相 微晶硅 调制光电流 
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