裴文俊

作品数:2被引量:3H指数:1
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供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题:介质保护膜蒸发舟主镜热蒸发氧化硅更多>>
发文领域:理学一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊:《光子学报》《强激光与粒子束》更多>>
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逆向热蒸发制备望远镜主镜银反射膜(英文)
《光子学报》2016年第6期117-122,共6页徐旭 刘洪祥 李斌成 裴文俊 
The National High Technology Research and the Development Program of China
以自上向下热蒸发大型镀膜机为实验平台,开展了逆向蒸发制备大口径银反射镜研究.通过设计特殊蒸发舟及优化相关工艺参数,实现了金属银膜稳定、高速向下蒸发.根据逆向热蒸发工艺特点,选取熔点低、升华型材料Cr和SiO及特殊设计的蒸发舟,...
关键词:薄膜 保护性银反射膜 向下热蒸发 SiOxNy保护层 环境稳定性 
大型天文望远镜主镜镀膜技术被引量:3
《强激光与粒子束》2012年第2期365-369,共5页杜维川 刘洪祥 裴文俊 王长军 
采取主镜镜面向上真空蒸镀制备方式,开展了大型天文望远镜主镜铝加介质保护反射膜技术研究。结合ZZS3200型镀膜设备真空室几何配置,对传统膜厚分布计算物理模型进行了修正,分别分析了铝膜与介质膜层膜厚均匀性。结果表明:理论分析与实...
关键词:均匀性 反射率 环境稳定性 主镜 镀膜 
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