许生健

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团第二十四研究所更多>>
发文主题：氧化物欧姆接触双极集成电路双极电路湿法腐蚀更多>>
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双极电路欧姆接触问题的工艺分析与解决方案被引量：2
《微电子学》2007年第5期678-681,共4页阚玲 张扬波 许生健 朱煜开 
为解决一种双极集成电路在生产中欧姆接触电阻过大的问题,针对关键工艺进行了统计分析和专项实验,找到了问题的原因和解决方法,对提高大规模集成电路的工艺制造稳定性具有非常重要的意义。
关键词：双极集成电路 欧姆接触 薄氧化物 湿法腐蚀 工艺控制 
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