徐大为

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：东南大学更多>>
发文主题：计算机模拟LPCVD低压化学气相淀积模拟过程自动机更多>>
发文领域：电子电信环境科学与工程化学工程更多>>
发文期刊：《电子器件》《中国机械工程》更多>>
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低压化学气相淀积计算机模拟
《电子器件》2006年第1期241-243,247,共4页徐大为 李伟华 周再发 
讨论了一个二驱动模型,分析气体在淀积过程中的反应机理,将气体的淀积过程分为各向同性和各向异性的结合。在此基础上提出一个LPCVD二维淀积模型,模型考虑了中间产物的作用,将粘滞系数转换为各向同性和各向异性(Runi/Rd)的比值,这个模...
关键词：LPCVD 淀积模拟 计算机模拟 线算法 
低压化学气相淀积的模型及模拟被引量：1
《中国机械工程》2005年第z1期207-209,共3页徐大为 李伟华 周再发 
国家杰出青年科学基金资助项目(50325519)
通过对几个淀积工艺模型的讨论,分析了气体在低压下的传输机理及各部分反应对淀积结果的贡献,在此基础上提出了低压化学气象淀积(LPCVD)的二维淀积模型.这个模型在结构上比较简单,计算方便,模型考虑了中间产物的作用,能得到与实际情况...
关键词：低压化学气象沉积(LPCVD) 淀积模拟 计算机模拟 线算法 
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