朱敏

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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：相变存储器相变材料结晶温度相变选通更多>>
发文领域：自动化与计算机技术文化科学金属学及工艺一般工业技术更多>>
发文期刊：《前沿科学》《无机材料学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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新原理开关器件为高性能海量存储提供新方案
《前沿科学》2023年第1期25-27,共3页宋志棠 朱敏 
随着物联网、5G通讯、人工智能、元宇宙等技术的快速发展,高密度与海量存储成为大数据时代信息技术与数字经济发展的关键瓶颈。英特尔于2017年推出的三维相变存储与近存计算架构,依托双向阈值开关(OTS)实现了存储阵列三维集成,并成功研...
关键词：存储阵列 人工智能 数据中心 信息技术 海量存储 物联网 OTS 三维集成 
新型相变材料Ti_(0.5)Sb_2Te_3刻蚀工艺及其机理研究
《无机材料学报》2013年第12期1364-1368,共5页张徐 刘波 宋三年 姚栋宁 朱敏 饶峰 吴良才 宋志棠 封松林 
国家重点基础研究发展计划(2010CB934300;2011CBA00607);国家自然科学基金(61006087;61076121;61076122;61106001);上海市科委(12nm0503701)~~
采用CF4和Ar混合气体研究了新型相变材料Ti0.5Sb2Te3(TST)的刻蚀特性,重点优化和研究了刻蚀气体总流速、CF4/Ar的比例、压力和功率等工艺参数对刻蚀形貌的影响。结果表明,当气体总流量为50 sccm、CF4浓度为26%﹑刻蚀功率为400 W和刻蚀...
关键词：新型相变材料 干法刻蚀 CF4+Ar气体 刻蚀速度 
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