谢晓

作品数:6被引量:8H指数:2
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供职机构:中国科学院声学研究所更多>>
发文主题:气体传感器振荡器声表面波谐振器声表面波压电基片更多>>
发文领域:自动化与计算机技术电子电信一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊:《声学技术》《传感技术学报》《压电与声光》《声学学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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36°YX-LiTaO_3/SiO_2结构Love波气体传感器研究被引量:1
《压电与声光》2015年第3期377-379,共3页陈桂 王文 谢晓 何世堂 
国家自然科学基金资助项目(11074268;11274340)
该文研究了一种覆盖六氟-2-羟基异丙基聚硅氧烷(SXFA)敏感膜,并针对有机磷化学物检测的新型Love波传感器,采用36°YX-LiTaO3与SiO2分别作为Love波延迟线器件的压电基底与波导层材料。将所研制的Love波器件作为差分振荡器的频率控制单元...
关键词:LOVE波 SIO2 灵敏度特性 36°YX-LiTaO3 
乐甫波器件温度特性实验研究
《压电与声光》2015年第2期193-196,共4页陈桂 谢晓 王文 何世堂 
国家自然科学基金资助项目(11074268;11274340)
研究了基于ST-90°X石英基片和SU-8波导层的乐甫波器件的温度特性。采用电极宽度控制单向单相(EWC/SPUDT)结构和铝电极,设计制作了具有单一模式控制功能和低插入损耗的150 MHz剪切型声表面波(SH-SAW)延迟线器件,并在其表面涂覆不同...
关键词:乐甫波 SU-8 频率温度系数 ST-90°X石英 波导层厚度 
应用于气体传感器的具有铝/金电极的单模式两端对声表面波谐振器
《声学学报》2013年第6期694-698,共5页王文 谢晓 邵秀婷 刘明华 何世堂 
国家自然科学基金(11074268;11274340)资助
为改善气体传感器性能,通过器件优化设计获得了一种应用于气体传感器的具有低损耗、高品质因子(Q)的单模式两端对声表面波(SAW)谐振器。该谐振器由两个换能器、分置于换能器两边的短路栅反射器以及在换能器之间分布的用于敏感膜镀...
关键词:声表面波谐振器 气体传感器 金电极 单模式 应用 频率稳定度 器件性能  
涂覆聚苯胺的声表面波湿度传感器实验研究
《声学技术》2013年第S1期175-176,共2页谢晓 王文 何世堂 
0引言湿度测量在工农业生产、食品卫生、气象、环保、国防等领域具有重要应用。随着应用范围的逐渐扩大,集成化、智能化、网络化的湿度传感器日益成为近年来的研究热点。基于声表面波(SAW)模式的湿度传感器以其灵敏度高、响应快、体积...
关键词:湿度传感器 声表面波 湿度测量 食品卫生 湿敏 湿度检测 PANI 脱附过程 输出信号 反馈元件 
声表面波气体传感器研究进展被引量:5
《真空电子技术》2013年第2期9-13,共5页何世堂 王文 谢晓 刘明华 李顺洲 潘勇 
国家自然基金项目(10834010;11274340;11074268)
从机理模型构建、物理功能结构优化两方面出发对覆盖聚合物敏感膜的高性能声表面波(SAW)气体传感器技术进行了研究和探讨。实验研制了一种以具有高频率稳定性的声表面波延迟线型振荡器为传感元,结合六氟异丙醇基聚硅氧烷敏感膜的SAW传感...
关键词:声表面波化学传感器 响应机理 振荡器 检测下限 
覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器机理分析被引量:3
《传感技术学报》2012年第12期1627-1630,共4页谢晓 王文 刘明华 何世堂 
国家自然科学基金重点项目(10834010);国家自然科学基金项目(11074268)
采用微扰理论分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器(SH-SAW)的响应机理。以针对有机磷毒剂具有良好选择性的含氟多羟基聚硅氧烷(FPOL)膜材料为例,分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应...
关键词:气体传感器 响应机理 水平剪切型声表面波 聚合物敏感膜 
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