郭晓光

作品数：3被引量：22H指数：2
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：激光调阻压头封装设备倒扣片式电阻更多>>
发文领域：电子电信电气工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光电子．激光》《应用激光》更多>>
所获基金：长春市科技攻关计划项目中国科学院知识创新工程国家高技术研究发展计划更多>>
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激光调阻工艺参数对调阻精度的影响分析被引量：12
《应用激光》2004年第3期139-141,共3页孙继凤 汤建华 郭晓光 
激光调阻的工艺参数主要包括光斑重叠率、激光功率、调Q频率和调阻速度 ,它们选择的合适与否直接影响激光调阻精度 ,如何确定激光调阻工艺参数是激光调阻控制中的重要问题。文中从理论分析和实验数据分析两个方面研究了激光调阻工艺参...
关键词：激光调阻 调阻精度 光斑重叠率 激光功率 调Q频率 调阻速度 
激光调阻机多档测量误差的软件自适应校正被引量：5
《光学精密工程》2004年第3期259-264,共6页王志娟 郭晓光 孙继凤 汤建华 于前洋 
国家高技术产业化光电子专项项目(No.2002055);长春市科技攻关计划项目(No.02 130G22)
为了减小激光调阻机测量系统的多档测量误差对阻值修调精度的影响,提出了一种基于有源单臂电桥测量原理自适应地校正激光调阻机多档测量误差的方法。通过测量和标定高精度标准电阻的测量误差,自适应地获取校正激光调阻机多档测量误差的...
关键词：激光调阻机 有源单臂电桥 测量系统 测量误差 电阻标定 
片式电阻激光微调过程中的调阻精度控制被引量：8
《光电子．激光》2004年第1期86-88,共3页王志娟 孙继凤 郭晓光 汤建华 于前洋 
国家高技术产业化光电子专项资助项目(2002055);长春市科技攻关计划资助项目(02 130G22);中国科学院研究生科学与社会实践资助专项创新类项目资助;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所第三期青年创新基金资助
提出了一种基于激光刻蚀路径的修调电阻精度控制方法。该方法通过动态确定L型调阻图形的横、纵向切割长度实现对调阻精度的控制。在保证阻值测量精度的条件下,应用该法在0.1Ω～100MΩ的薄膜电阻阻值进行修调,调阻精度可达到1%。
关键词：片式电阻 微调过程 调阻精度控制 L型调阻图形 激光调阻 
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