孙继凤

作品数：7被引量：33H指数：3
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：激光调阻激光调阻机控制系统片式电阻光刻更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《光机电信息》《光学精密工程》《激光杂志》《光电子．激光》更多>>
所获基金：长春市科技攻关计划项目中国科学院知识创新工程国家高技术研究发展计划更多>>
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激光的应用现状与发展趋势被引量：11
《光机电信息》2007年第8期27-33,共7页王忠生 王兴媛 孙继凤 
激光是新一代光源,目前在许多领域得到了广泛应用。本文从激光的起源出发,介绍了激光的应用现状、激光技术及其应用的发展趋势,同时还介绍了目前国内现存的问题,并对进一步发展提供了相应的参考。
关键词：激光 激光应用 发展趋势 
激光调阻预置式变速光刻控制
《光机电信息》2007年第1期21-25,共5页孙继凤 汤建华 
国家高技术产业化光电子专项资助项目(2002055);长春市科技攻关计划资助项目(02-130G22)
全自动激光调阻机是各种薄、厚膜片式电阻的工业化专用生产设备,提高调阻性能是提升设备生产力,降低生产成本,节能增效的主要途径。因此,在原系统基础上对激光调阻中光束定向控制系统进行改进设计,以先验知识为基础,构造预置、简单变速...
关键词：激光调阻 预置式控制 变速控制 调阻速度 调阻精度 
激光调阻中切槽质量与影响因素的关联定位分析被引量：2
《激光杂志》2006年第3期15-17,共3页孙继凤 满海锋 汤建华 刘立峰 
在激光调阻中,切槽质量的评价主要包括清晰度、光滑度、平直度、垂直度和一致性等方面的内容,它们直接决定了生产片阻的品质与等级。为了得到优质切槽,掌握切槽质量与影响因素之间的关系,文章从两个角度进行分析。一是在复杂的光、机、...
关键词：激光调阻 切槽质量 因素分析 
激光调阻工艺参数对调阻精度的影响分析被引量：12
《应用激光》2004年第3期139-141,共3页孙继凤 汤建华 郭晓光 
激光调阻的工艺参数主要包括光斑重叠率、激光功率、调Q频率和调阻速度 ,它们选择的合适与否直接影响激光调阻精度 ,如何确定激光调阻工艺参数是激光调阻控制中的重要问题。文中从理论分析和实验数据分析两个方面研究了激光调阻工艺参...
关键词：激光调阻 调阻精度 光斑重叠率 激光功率 调Q频率 调阻速度 
激光切割液晶屏短路环非垂直XY电机轴的校正控制
《光学精密工程》2004年第z2期242-245,共4页孙继凤 汤建华 徐宏 董吉洪 
根据液晶屏制造工艺的要求,在液晶屏四周需要印制短路环来释放制屏过程中产生的静电荷.当液晶屏流到贴芯片工序(COG)之前,需要将短路环切断,否则将会造成芯片短路.激光切割液晶屏短路环是利用高能激光脉冲聚焦在液晶屏短路环上使短路环...
关键词：液晶屏短路环 激光切割 非垂直XY轴 横纵切割槽垂直 
激光调阻机多档测量误差的软件自适应校正被引量：5
《光学精密工程》2004年第3期259-264,共6页王志娟 郭晓光 孙继凤 汤建华 于前洋 
国家高技术产业化光电子专项项目(No.2002055);长春市科技攻关计划项目(No.02 130G22)
为了减小激光调阻机测量系统的多档测量误差对阻值修调精度的影响,提出了一种基于有源单臂电桥测量原理自适应地校正激光调阻机多档测量误差的方法。通过测量和标定高精度标准电阻的测量误差,自适应地获取校正激光调阻机多档测量误差的...
关键词：激光调阻机 有源单臂电桥 测量系统 测量误差 电阻标定 
片式电阻激光微调过程中的调阻精度控制被引量：8
《光电子．激光》2004年第1期86-88,共3页王志娟 孙继凤 郭晓光 汤建华 于前洋 
国家高技术产业化光电子专项资助项目(2002055);长春市科技攻关计划资助项目(02 130G22);中国科学院研究生科学与社会实践资助专项创新类项目资助;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所第三期青年创新基金资助
提出了一种基于激光刻蚀路径的修调电阻精度控制方法。该方法通过动态确定L型调阻图形的横、纵向切割长度实现对调阻精度的控制。在保证阻值测量精度的条件下,应用该法在0.1Ω～100MΩ的薄膜电阻阻值进行修调,调阻精度可达到1%。
关键词：片式电阻 微调过程 调阻精度控制 L型调阻图形 激光调阻 
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