叶燚玺

作品数：2被引量：9H指数：2
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供职机构：华中科技大学更多>>
发文主题：超精密气体轴承磁栅磁性材料长行程更多>>
发文领域：一般工业技术理学机械工程更多>>
发文期刊：《中国机械工程》更多>>
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双层气浮平台中气浮支承动力学参数设计的研究被引量：2
《中国机械工程》2010年第7期757-761,共5页叶燚玺 陈学东 罗欣 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2009CB724205);国家自然科学基金资助项目(50605025)
针对双层气浮运动平台中气浮支承动力学参数设计问题,分析了气浮支承动力学参数的一般规律,提出了减小双层气浮平台同步误差的设计原则,并通过两种不同双层气浮平台动力学性能设计方案验证了所提出的设计原则。研究结果表明:选择和设计...
关键词：气浮支承 动力学 双层气浮平台 同步特性 
精密双层气浮直线电机动力学响应分析被引量：7
《中国机械工程》2008年第7期761-765,共5页余显忠 陈学东 叶燚玺 贾文川 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716206);国家自然科学基金资助项目(50605025)
高分辨率步进扫描投影光刻机中的精密双层气浮直线电机采用气浮轴承支撑,实现亚微米级定位的高速高精运动。考虑其气固耦合特性以及对运动精度产生的影响,通过有限元的方法建立了精密双层气浮直线电机的有限元模型。在该模型的基础上,...
关键词：精密直线电机 响应分析 有限元分析 模态试验 
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