精密直线电机

作品数：8被引量：25H指数：4
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相关领域：电气工程更多>>
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相关期刊：《武汉理工大学学报》《清华大学学报（自然科学版）》《中国机械工程》《电机与控制应用》更多>>
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精密直线电机ISD203智能伺服系统驱动器设计
《内燃机与配件》2020年第15期115-116,共2页杨柳 杨庆煊 郑大腾 彭曙 李军 
精密直线电机ISD203智能伺服驱动器系统,建立永磁同步电机(PMSM),内置PLC、驱动、运动控制功能于一体,建立PMSM位置伺服系统矢量控制模型。建立支持梯形图的用户程序编辑平台、用户程序编译器及单板上运行的用户程序解释系统,研究驱动...
关键词：精密直线电机 智能伺服系统 驱动器 设计 
精密直线电机ISD203智能伺服系统驱动器关键技术研发
《内燃机与配件》2020年第13期94-96,共3页杨柳 杨庆煊 郑大腾 彭曙 李军 
精密直线电机ISD203智能伺服驱动器系统,集永磁同步电机(PMSM),内置PLC、驱动、运动控制功能于一体,可单独使用或多台组网构成多轴控制系统,并可共享各轴的I/O,并支持定位、电子齿轮、凸轮、同步控制。驱动器内部集成了单轴定位功能,各...
关键词：精密直线电机 智能伺服系统 驱动器 技术研发 
基于模糊自抗扰的精密直线电机运动控制被引量：6
《电机与控制应用》2020年第6期6-11,共6页隋延飞 李旭 李星占 刘海波 王永青 
中央高校基本科研业务费项目(DUT2019TA01);国防基础科研核科学挑战专题项目(TZ2018006-0101-03);中国博士后科学基金(2019M651114)。
针对精密直线电机运动平台模型参数不确定以及直线电机结构特性带来的端部效应和定位力波动等非线性因素引起的系统动态响应性能下降问题,分析了直线电机运动平台数学模型,设计了一种模糊自抗扰控制器(ADRC)。通过Simulink建立伺服运动...
关键词：自抗扰控制 模糊控制 直线电机 运动控制 
高加速精密直线电机运动平台键合图建模与分析被引量：4
《机器人》2011年第4期467-474,共8页孙立宁 李腾 刘延杰 
国家自然科学基金资助项目(50705027);国家科技重大专项资助项目(2009ZX02021-003);国家973计划资助项目(2009CB724206);长江学者和创新团队发展计划资助项目
针对高加速度精密直线电机运动平台的特点,在宽频范围内对其进行了全局耦合动力学建模和分析.利用键合图法建立了包括电机、机械部分并考虑柔性连接和系统非线性摩擦作用的运动平台全局耦合动力学模型,基于建立的模型利用Matlab/Simulin...
关键词：直线电机 运动平台 键合图 高加速度 高精度 
精密气浮直线电机结构动力学建模与分析被引量：5
《武汉理工大学学报》2008年第5期117-121,共5页陈学东 谢德东 何学明 姜伟 张玲莉 
国家重点基础研究发展规划项目(973计划)(2003CB716206);国家自然科学基金项目(50605025);湖北省杰出人才创新基金项目
高分辨率步进扫描投影光刻机中掩模台长行程直线电机采用气浮轴承支撑实现亚微米级定位的高速高精运动。考虑精密气浮直线电机结构中气固耦合对直线电机运动精度可能产生的影响,用拉格朗日方法建立了精密直线电机12个自由度的动力学模...
关键词：精密直线电机 气固耦舍 动力学模型 仿真 模态试验 
精密双层气浮直线电机动力学响应分析被引量：7
《中国机械工程》2008年第7期761-765,共5页余显忠 陈学东 叶燚玺 贾文川 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716206);国家自然科学基金资助项目(50605025)
高分辨率步进扫描投影光刻机中的精密双层气浮直线电机采用气浮轴承支撑,实现亚微米级定位的高速高精运动。考虑其气固耦合特性以及对运动精度产生的影响,通过有限元的方法建立了精密双层气浮直线电机的有限元模型。在该模型的基础上,...
关键词：精密直线电机 响应分析 有限元分析 模态试验 
精密直线电机气浮轴承参数辨识
《华中科技大学学报（自然科学版）》2007年第12期62-64,共3页余显忠 陈学东 何学明 姜伟 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716206);国家自然科学基金资助项目(50605025)
基于精密直线电机气浮轴承支撑的结构特点,针对气浮轴承动力学参数辨识问题,利用有限元方法建立了该结构系统的有限元模型,运用理论模态分析与实验模态分析相结合的方法,对该结构的气浮轴承的参数进行了辨识验证,得到了精密直线电机气...
关键词：精密直线电机 气浮轴承 参数辨识 有限元方法 
H_∞鲁棒控制在精密直线电机位移装置中的应用被引量：5
《清华大学学报（自然科学版）》2006年第11期1828-1831,共4页颜菡 王先逵 段广洪 赵彤 
国家自然科学基金资助项目(50105009);国家"十五"科技攻关项目(2001BA205B04)
为解决精密直线电机位移装置中负载扰动、切削力波动以及参数的变化对系统性能影响较大的问题,利用在频率域选择加权函数,并将其转化到状态空间进行优化的方法,将H∞鲁棒控制算法应用到精密直线电机位移装置中。仿真实验证明,该控制器...
关键词：精密直线位移 直线伺服电动机 鲁棒H∞控制 
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