云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 周茂峰

周茂峰: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：南京大学更多>>; 发文主题：氧化锌薄膜锌源金属有机物化学气相淀积OMOCVD系统更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《半导体技术》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>

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O_2流量对ZnO薄膜生长及性质的影响: 《半导体技术》2008年第S1期349-352,共4页周茂峰顾书林朱顺明; 国家自然科学基金(60776013;60576017;50532100);国家"973"重点基础研究项目2006CB921803);国家"863"高技术研究发展计划(2007AA03Z404); 讨论了MOCVD生长ZnO薄膜各种性质随氧流量的变化规律。固定锌源(DEZn)流量改变氧源(O2)流量,采用低压MOCVD在石英衬底上生长一组ZnO薄膜样品。由厚度测量、Raman散射、XRD表征表明,随O2流量增加,ZnO薄膜生长速率先提高后降低,碳杂质有...; 关键词：氧化锌薄膜金属有机物化学气相淀积氧气流量锌源