张德景

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
发文主题：离子辅助沉积窄带滤光片附着力滤光片ZNS更多>>
发文领域：理学一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊：《浙江大学学报（工学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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离子辅助沉积对ZnS/MgF_2滤光片光谱漂移的影响被引量：1
《浙江大学学报（工学版）》2004年第11期1511-1514,共4页鲁法珂 顾培夫 张德景 
国家自然科学基金资助项目(60078001).
采用霍尔源离子辅助沉积(IAD)技术制备了ZnS/MgF2多层膜窄带干涉滤光片,并与常规沉积条件下制备的样品作比较.结果发现离子辅助沉积明显减小了滤光片的光谱漂移,实测漂移小于0.5nm,光谱稳定性得到很大提高.计算了滤光片中MgF2膜层的聚...
关键词：离子辅助沉积 ZnS/MgF2 窄带滤光片 光谱漂移 聚集密度 
离子辅助沉积对Nb_2O_5薄膜特性的影响被引量：2
《浙江大学学报（工学版）》2004年第10期1387-1390,共4页张德景 李明宇 顾培夫 
国家自然科学基金资助项目(6007801).
为了提高Nb2O5薄膜的聚集密度,改善氧化铌薄膜的光学特性和机械特性,采用霍尔源离子辅助沉积(IDA)技术在K9玻璃基板上制备了Nb2O5单层薄膜,并与常规沉积条件下制备的Nb2O5薄膜作了比较.由于IAD技术使Nb2O5膜的聚集密度提高了14%,膜层折...
关键词：Nb2O5薄膜 离子辅助沉积 聚集密度 附着力 
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