李海麒

作品数：3被引量：18H指数：2
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供职机构：中南大学更多>>
发文主题：ZAO薄膜电阻率透光率透明导电薄膜常压更多>>
发文领域：一般工业技术理学电子电信更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《半导体光电》《湖南科技大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：广西高校百名中青年学科带头人计划项目广西信息材料重点实验室主任基金广西教育厅科研项目更多>>
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真空退火时间对ZAO薄膜的结构与性能的影响被引量：1
《半导体光电》2009年第3期417-419,共3页江民红 刘心宇 成钧 周秀娟 李海麒 
广西教育厅科研项目(200807LX121);广西信息材料重点实验室主任基金项目(桂科能0710908-09-Z);广西信息材料创新人材基金资助项目;桂林电子科技大学软环境建设项目(2004-54)
采用射频磁控溅射法制备了Al掺杂ZnO(ZAO)薄膜,研究了真空退火对其组织结构和光电性能的影响规律。结果表明,所制备的ZAO薄膜厚度均匀、组织致密,具有(002)择优取向的六方纤锌矿结构,400℃真空退火后,薄膜晶粒粗大,(002)晶面择优取向性...
关键词：ZAO 热处理工艺 真空退火 循环退火 透明导电薄膜 
常压固相烧结法制备ZAO靶材及其性能的研究被引量：16
《湖南科技大学学报（自然科学版）》2008年第1期27-30,共4页刘心宇 李海麒 江民红 
广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目(RC20060809014)
采用常压固相烧结法,通过优化烧结工艺,制备出平整、组织均匀、致密的ZAO靶材.研究了掺杂含量、烧结温度对陶瓷靶材微观结构和性能的影响,并使用自制靶材,采用射频磁控溅射法镀膜.结果表明:Al2O3的掺杂没有破坏ZnO晶体结构,Al原子对Zn...
关键词：ZAO薄膜 陶瓷靶材 微观结构 
靶材自制ZAO薄膜的制备与光电性能被引量：3
《微细加工技术》2008年第1期21-25,共5页江民红 刘心宇 李海麒 
采用传统陶瓷烧结工艺,制得性能良好的Al掺杂ZnO陶瓷靶。以此靶为溅射源,利用射频磁控溅射法制备ZAO薄膜,着重研究了400℃保温2 h重复退火次数对ZAO薄膜的组织结构及光电性能的影响。结果表明,随着重复退火次数的增加,薄膜晶体结构保持...
关键词：陶瓷靶 ZAO薄膜 射频磁控溅射 循环退火 电阻率 透光率 
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