陶瓷靶材

作品数：54被引量：109H指数：5
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两种稀土掺杂改性热障涂层陶瓷靶材制备及其性能比较分析研究
《现代技术陶瓷》2024年第5期434-445,共12页高栋 刘燚栋 黄爱华 
以Gd_(2)O_(3)、Yb_(2)O_(3)、Y_(2)O_(3)和ZrO_(2)粉末作为原料,通过固相合成技术成功制备了Gd_(2)O_(3)、Yb_(2)O_(3)、Y_(2)O_(3)共掺杂Zr O_(2)陶瓷粉末(简称MRC-YSZ)及Yb_(2)O_(3)掺杂的Gd_(2)Zr_(2)O_(7)陶瓷粉末(简称Yb-GZO),并...
关键词：热障涂层 陶瓷靶材 稀土 锆酸钆 热导率 
氧化锌铝陶瓷靶材制备工艺研究
《粉末冶金工业》2023年第4期22-26,共5页唐培新 吕周晋 车立达 吴战芳 
AZO靶材是一种透明导电氧化锌合金靶材,具有优异的导电性和透明度,广泛应用于太阳能电池、液晶显示器、光电器件等领域。实验采用喷雾干燥工艺制备粉末+冷等静压成形+常压烧结法制备了掺铝氧化锌AZO陶瓷靶材。研究了不同烧结温度对氧化...
关键词：AZO陶瓷靶材 烧结 电阻率 喷雾干燥 热等静压 
磁控溅射制备取向性BaTiO_(3)薄膜及其性能研究
《真空与低温》2023年第3期232-236,共5页姚明刚 王玺 李斌 程亚亚 张春海 
磁控溅射具有制备的薄膜纯度高、致密性好、均匀,膜-基结合牢固、工艺重复性好,适合制备取向性无机非金属薄膜等优点,在微电子领域具有广泛的应用前景。研究了BaTiO_(3)薄膜沉积过程中的氩氧比、溅射温度、溅射时间、溅射功率等参数对...
关键词：磁控溅射 工艺参数 陶瓷靶材 BaTiO_(3)取向性薄膜 
BaBiO_(3)陶瓷靶材的烧制工艺优化及其晶粒生长机制
《硅酸盐学报》2022年第12期3222-3229,共8页屈婧婧 苏琪 刘飞 沈乃瑞 袁昌来 刘笑 蒙柳方 
广西制造系统与先进制造技术重点实验室主任课题(20-065-40-001Z);国家自然科学基金青年科学基金(61801135)。
高质量的陶瓷靶材对于射频磁控溅射法可镀制出综合性能优异的BaBiO_(3)基负温度系数热敏薄膜至关重要。基于此,本工作以纯Ba Bi O_(3)靶材样品的收缩率、平整度和体积密度为主要质量特性衡量指标,通过改变保压时间、烧结温度、保温时间...
关键词：铋酸钡 烧制工艺 正交实验 晶粒生长机制 靶材 质量衡量指标 
Na掺杂MoO_(3)陶瓷靶材的制备及其成膜性能研究被引量：1
《电子元件与材料》2022年第1期40-46,103,共8页雷金坤 李继文 李召阳 刘伟 徐流杰 
国家自然科学基金(U1804124)。
为满足薄膜太阳能电池对Na源充足与稳定的需求,以钼酸钠和氧化钼粉为原料,采用放电等离子烧结技术(SPS)制备了Na掺杂MoO_(3)陶瓷靶材(Na-MoO_(3)),研究了烧结温度、烧结助剂Al和Na掺杂含量(“含量”指摩尔分数)对Na-MoO_(3)靶材结构、...
关键词：放电等离子烧结 Na掺杂 MoO_(3)陶瓷靶材 磁控溅射 Na离子源 
广东先导集团收购三星康宁先进玻璃陶瓷靶材业务
《中国贵金属》2021年第10期11-11,共1页
广东先导集团今日正式发文,宣布双方已达成最终协议,收购三星康宁先进玻璃有限公司(“SCG”)的陶瓷靶材业务,三星康宁先进玻璃有限责任公司是三星显示器与康宁股份有限公司的合资企业。此次交易亮点:通过收购领先的ITO解决方案供应商,...
关键词：合资企业 陶瓷靶材 三星显示器 供应商 收购 交割 玻璃 先导 
热压法制备二硫化钼陶瓷靶材工艺研究
《陶瓷学报》2021年第4期614-619,共6页崔玉青 李晶 席莎 王娜 武洲 朱琦 安耿 
国家重点研发计划(2017YFB0305404)。
采用热压工艺,制备了相对密度较高的二硫化钼陶瓷靶材产品。以靶材的相对密度为考察指标,研究了热压温度、压强、时间、烧结气氛、原料形态对二硫化钼陶瓷靶材相对密度的影响。通过阿基米德法、XRD、SEM及能谱等检测手段对热压陶瓷靶材...
关键词：二硫化钼 靶材 热压烧结法 致密化 
ITO陶瓷靶材溅射过程中结瘤行为研究被引量：2
《郑州大学学报（工学版）》2021年第2期87-92,共6页罗文 孙本双 刘书含 陈杰 孟将 李树荣 
国家自然科学基金项目(52004253);宁夏自然科学基金资助项目(2020AAC03507)。
ITO陶瓷靶材的结瘤行为严重影响靶材的应用及其溅射薄膜性能,对结瘤的形成机理进行深入研究具有重要意义。针对不同参数设置的ITO靶材进行磁控溅射,利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)以及X射线光电子能谱仪(XPS)等技术分析靶...
关键词：ITO靶材 磁控溅射 结瘤 微观组织 结瘤机制 
放电等离子体烧结下Nb掺杂量对TiO_2陶瓷靶材性能的影响被引量：2
《硅酸盐通报》2018年第9期2991-2994,3001,共5页赵江涛 沈金城 刘欢 董磊 王晨 杨海涛 
深圳市基础研究项目(JCYJ20160422144751573;JCYJ2016 0422104921235;JCYJ 20140418181958489)
采用放电等离子体(SPS)烧结制备了Nb掺杂TiO_2(NTO)陶瓷靶材,运用X射线衍射分析、扫描电子显微镜、四探针测试仪等对NTO陶瓷靶材样品的各性能进行表征。研究了在1100℃下不同Nb掺杂量对NTO陶瓷靶材相对密度、抗弯强度、电阻率、表面形...
关键词：陶瓷靶材 掺杂量 SPS烧结 TIO2 
烧结温度对GZO陶瓷靶材无压烧结致密化的影响被引量：1
《中国陶瓷》2018年第2期57-62,共6页叶林龙 孙宜华 覃远东 方亮 闻望喜 
透明电极用高性能AZO溅射靶材研制及其产业化应用探索(桂科转1599002-3)
采用模压成型-无压烧结法制备Ga掺杂量为3 wt%的氧化锌陶瓷靶材（ZnO∶Ga_2O_3=97∶3,wt%）。分析研究了烧结温度对靶材致密度、物相组成、微观结构及烧结收缩变化率的影响。结果表明：烧结温度的升高对GZO靶材试样中的Ga元素扩散有促...
关键词：GZO靶材 成型压力 无压烧结 致密化 
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