武建华

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中航工业北京航空材料研究院更多>>
发文主题：AZO薄膜AZO反应磁控溅射红外发射率性能研究更多>>
发文领域：一般工业技术更多>>
发文期刊：《材料工程》更多>>
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柔性基底AZO薄膜制备及其红外发射率身性能研究被引量：1
《材料工程》2009年第S1期293-297,共5页李静 王智勇 何山 望咏林 武建华 陈洁 温培刚 
武器装备预研基金资助项目(9140A10020406HK51)
利用反应磁控溅射,用不同掺杂比的锌铝合金靶材,在PI有机柔性基底表面制备了附着力良好、电阻率低的透明AZO薄膜,利用AFM,XRD、分光光度计、四电子探针等分析测试技术对AZO薄膜的形貌、结构、光电性能等进行了表征。并对性能良好的AZO...
关键词：AZO薄膜 反应磁控溅射 红外发射率 
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