王明光

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供职机构：哈尔滨理工大学应用科学学院更多>>
发文主题：磁控溅射表面形貌SI薄膜LCMOHREM更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《功能材料》《Journal of Semiconductors》更多>>
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Pt/Au/p-Si溅射薄膜组织结构特征
《功能材料》2004年第z1期1068-1070,共3页殷景华 蔡伟 王明光 郑玉峰 赵连城 
在p-Si衬底上,分别淀积5 nm Au膜和5nmPt膜,形成Pt/Au/p-Si结构,500℃退火后形成硅化物薄膜.采用X射线光电子谱和X射线衍射谱研究薄膜成分和相分布,利用原子力显微镜和高分辨电子显微镜观察薄膜表面形貌和界面结构.测试结果表明,薄膜中...
关键词：Pt/Au/p-Si 薄膜 硅化物分布 表面和界面结构 
磁控溅射纳米PtSi薄膜表面和界面特征
《Journal of Semiconductors》2003年第B05期74-77,共4页殷景华 蔡伟 王明光 郑玉峰 李美成 王培林 赵连城 
采用磁控溅射方法在p—Si(111)衬底上淀积5nmPt膜，退火后形成PtSi薄膜，利用原子力显微镜和高分辨电子显微镜观察了PtSi薄膜的表面和界面特征。实验结果表明，工艺条件影响PtSi薄膜的微观组织结构和表面形貌，随着衬底温度增加，薄膜...
关键词：PtSi薄膜 表面形貌 界面结构 
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