罗晓斌

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电子束曝光中低能电子散射的模拟
《微纳电子技术》2009年第1期55-59,共5页罗晓斌 于肇贤 
北京市自然科学基金资助项目(1072010)
介绍了Pendry弹性散射截面,描述了电子在固体中的散射过程,包括散射步长、散射角、方位角和散射点处能量的确定,并将Pendry截面和Monte Carlo计算方法应用到电子散射过程中。分别改变入射电子束能量、抗蚀剂厚度和衬底材料,模拟了能量...
关键词：电子束光刻 Pendry截面 低能电子束 散射轨迹 分辨率 
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