刘秀红

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：山东大学物理学院更多>>
发文主题：波导铌酸锂晶体磁控溅射MGOZNO更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《山东建筑大学学报》更多>>
所获基金：山东省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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在蓝宝石、MgO衬底上ZnO波导膜的制备被引量：3
《山东建筑大学学报》2011年第5期411-415,共5页王凤翔 齐俊鹤 卢菲 刘秀红 李爽 陈志华 宋红莲 
国家自然科学基金项目(51042002);山东省自然科学基金项目(2009ZRB019DZ)
以ZnO烧结陶瓷为靶材,应用射频磁控溅射技术在(001)蓝宝石、(100)MgO衬底上制备ZnO波导薄膜。利用棱镜耦合、X射线衍射、RBS背散射分析等技术研究了所沉积薄膜的光波导及内部结构信息。结果表明:在两种衬底上所沉积的ZnO薄膜可以形成优...
关键词：磁控溅射 蓝宝石 MGO ZNO薄膜 波导膜 
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