刘青林

作品数：2被引量：8H指数：1
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供职机构：天津大学电子信息工程学院更多>>
发文主题：多孔硅室温有序多孔腐蚀电流密度单晶硅片更多>>
发文领域：理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《物理学报》《传感器与微系统》更多>>
所获基金：国家自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划更多>>
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一种LED辐照激励下的室温NO_2气体传感器研究
《传感器与微系统》2013年第8期29-31,共3页贾丁立 胡明 李明达 刘青林 
国家自然科学基金资助项目(62171070;60771019;60801018);天津市应用基础及其前沿技术研究计划资助项目(11JCZDJC15300)
采用快速热处理的方法,提高了室温下WO3薄膜气体传感器对NO2的敏感特性。首先采用直流对靶磁控溅射的方法在Al2O3陶瓷基底上沉积纳米WO3薄膜,然后在N2∶O2=4∶1的混合气氛中,分别在500,600℃和700℃的热处理温度下对纳米WO3薄膜进行快...
关键词：室温气体传感器 金属氧化物半导体 快速热处理 发光二极管 
n型有序多孔硅基氧化钨室温气敏性能研究被引量：8
《物理学报》2013年第5期361-368,共8页胡明 刘青林 贾丁立 李明达 
国家自然科学基金(批准号:60771019);天津市应用基础及前沿技术研究计划(批准号:11JCZDJC15300)资助的课题~~
利用电化学腐蚀方法制备了n型有序多孔硅,并以此为基底用直流磁控溅射法在其表面溅射不同厚度的氧化钨薄膜.利用X射线和扫描电子显微镜表征了材料的成分和结构,结果表明,多孔硅的孔呈柱形有序分布,溅射10min的WO3薄膜是多晶结构,比较松...
关键词：有序多孔硅 氧化钨薄膜 二氧化氮 室温气敏性能 
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