李明达

作品数：3被引量：10H指数：2
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供职机构：天津大学更多>>
发文主题：多孔硅多孔气敏元件气敏传感器抛光表面更多>>
发文领域：理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》《物理化学学报》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划更多>>
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一种LED辐照激励下的室温NO_2气体传感器研究
《传感器与微系统》2013年第8期29-31,共3页贾丁立 胡明 李明达 刘青林 
国家自然科学基金资助项目(62171070;60771019;60801018);天津市应用基础及其前沿技术研究计划资助项目(11JCZDJC15300)
采用快速热处理的方法,提高了室温下WO3薄膜气体传感器对NO2的敏感特性。首先采用直流对靶磁控溅射的方法在Al2O3陶瓷基底上沉积纳米WO3薄膜,然后在N2∶O2=4∶1的混合气氛中,分别在500,600℃和700℃的热处理温度下对纳米WO3薄膜进行快...
关键词：室温气体传感器 金属氧化物半导体 快速热处理 发光二极管 
n型有序多孔硅基氧化钨室温气敏性能研究被引量：8
《物理学报》2013年第5期361-368,共8页胡明 刘青林 贾丁立 李明达 
国家自然科学基金(批准号:60771019);天津市应用基础及前沿技术研究计划(批准号:11JCZDJC15300)资助的课题~~
利用电化学腐蚀方法制备了n型有序多孔硅,并以此为基底用直流磁控溅射法在其表面溅射不同厚度的氧化钨薄膜.利用X射线和扫描电子显微镜表征了材料的成分和结构,结果表明,多孔硅的孔呈柱形有序分布,溅射10min的WO3薄膜是多晶结构,比较松...
关键词：有序多孔硅 氧化钨薄膜 二氧化氮 室温气敏性能 
介孔硅与大孔硅的结构、电学和气敏特性(英文)被引量：2
《物理化学学报》2012年第2期489-493,共5页孙鹏 胡明 李明达 马双云 
supported by the National Natural Science Foundation of China(60771019);Tianjin Key Research Program of Application Foundation and Advanced Technology,China(11JCZDJC15300)~~
采用双槽电化学腐蚀法在P型单晶硅表面制备两种多孔硅.根据它们的孔径将它们分为介孔硅和大孔硅.使用扫描电子显微镜(SEM)观察两种多孔硅表面和断面形貌,介孔硅和大孔硅的表面化学键用傅里叶变换红外(FTIR)光谱仪来研究,通过I-V特性测...
关键词：介孔硅 大孔硅 室温 气敏特性 
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