吕佳楠

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室更多>>
发文主题：氮化镓干法刻蚀氮化镓材料表面等离子体激元MEMS更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术理学机械工程更多>>
发文期刊：《应用光学》更多>>
所获基金：国家自然科学基金苏州市科技发展计划更多>>
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基于干法刻蚀技术的氮化镓MEMS加工工艺(英文)被引量：1
《纳米技术与精密工程》2011年第1期78-82,共5页杨振川 吕佳楠 闫桂珍 陈敬 
国家自然科学基金资助项目(60706028)
氮化镓(GaN)材料已成功应用于光电子器件、高频功率器件等领域.近年来,由于GaN优异的材料特性,例如机械、热、化学稳定性以及生物兼容性等,使基于GaN的微机电系统(MEMS)得到了学术界的广泛关注.针对氮化镓MEMS结构的有效的图形化及释放...
关键词：干法刻蚀 氮化镓(GaN) MEMS 
基于表面等离子体激元效应的可调制滤波器被引量：1
《应用光学》2010年第2期309-312,共4页林文魁 李海军 朱贺 付思齐 吕佳楠 张宝顺 
苏州市科技发展计划(ZXG0712)
针对常用的光学滤波器滤波波长不可变的特点,提出一种利用表面等离子体激元效应实现可调制滤波的方法。该方法根据金属邻近电介质的介电常数发生改变时,金属与入射光波的表面等离子体激元耦合共振模式发生改变,以此实现滤波波长调制。...
关键词：表面等离子体激元 调制滤波器 电介质 纳米孔阵列 
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