张东华

作品数：3被引量：7H指数：2
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供职机构：南昌大学太阳能光伏学院更多>>
发文主题：表面钝化CZ-SISIOPECVD氢化更多>>
发文领域：电子电信理学电气工程更多>>
发文期刊：《功能材料》《半导体技术》《太阳能》更多>>
所获基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
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α-SiO_x∶H钝化Cz-Si表面的工艺优化与机制分析被引量：4
《功能材料》2014年第9期101-103,共3页黄海宾 张东华 汪已琳 龚洪勇 高江 Wolfgang R.Fahrner 周浪 
国家自然科学基金资助项目(61306084);教育部博士点基金资助项目(20113601120006)
氢化非晶氧化硅(α-SiOx∶H)是一种优质的硅片表面钝化材料。采用PECVD法,以SiH4、CO2和H2作为气源制备α-SiOx∶H薄膜钝化Cz-Si表面,研究了沉积气压和CO2∶SiH4流量比对钝化效果的影响规律及作用机制。采用准稳态光电导法测试了硅片的...
关键词：氢化非晶氧化硅 PECVD 硅片表面钝化 空位浓度 氢含量 
类单晶硅锭中的亚晶粒结构分析被引量：2
《半导体技术》2013年第2期135-139,共5页汪已琳 张东华 汤斌兵 周浪 
高等学校博士学科点专项基金新教师类(20113601120006)
当前类单晶硅锭生长技术已能容易地获得尺寸数倍于太阳电池硅片的<001>取向的超大"晶粒",但在其硅片中存在亚晶粒。采用位错刻蚀与显微观察、X射线双晶衍射和背散射电子衍射(EBSD),研究了该类硅片的亚晶粒及亚晶界结构。结果表明:硅片...
关键词：类单晶硅 亚晶粒 亚晶界 位错 背散射电子衍射 位向差 
第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会优秀论文选登(十) PECVD法非晶硅薄膜对太阳能级n型直拉单晶硅片钝化效果的研究被引量：1
《太阳能》2013年第1期32-34,共3页龚洪勇 周浪 黄海宾 向昱任 汪已琳 张东华 高江 崔冶青 
研究了优等化离子体化气相学沉积法(PECVD)在太阳能级n型直拉单晶(Cz)硅衬底上沉积i-a-Si:H薄膜工艺,得到较好的钝化效果。分析了气体流量和温度、气压等工艺参数对薄膜沉积和硅片钝化效果的影响。通过优化参数,钝化后在太阳能级n型Cz硅...
关键词：氢化非晶硅 PECVD 钝化 太阳能级n型硅片 
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