彭华军

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WC和Si衬底生长金刚石薄膜的研究
《真空科学与技术》1999年第A10期65-71,共7页邵淑敏 彭华军 
采用ＳＥＭ，Ｒａｍａｎ光谱等手段，较全面系统地研究了ＨＦＣＶＤ法在ＷＣ和Ｓｉ衬底上生长金刚石薄膜时，衬底预处理、碳源深度、热丝及衬底温度等对金刚石形核、生长的影响。并对两种衬底进行了对比与分析，最后总结出影响金刚石形...
关键词：碳化钨衬底 硅衬底 金刚石薄膜 金刚石生长 
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