徐晓玲

作品数:2被引量:12H指数:2
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供职机构:浙江大学物理系物理学系更多>>
发文主题:衬底光学特性光学成核CVD更多>>
发文领域:理学一般工业技术更多>>
发文期刊:《功能材料》更多>>
所获基金:浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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热丝碳化促进CVD金刚石成核增强的物理机制被引量:4
《功能材料》2002年第1期46-48,共3页邱东江 吴惠桢 石成儒 徐晓玲 郝天亮 
浙江省自然科学基金资助项目(596030)
采用扫描电镜、X射线衍射及喇曼光谱等手段研究了HFCVD过程中热丝碳化对金刚石成核特性的影响。热丝经充分碳化后能发射出更多热电子,进而从反应气体中激发出更多原子H和CH3+,使金刚石晶核的孕育期大为缩短,3min内即...
关键词:热丝碳化 金刚石 成核 CVD 金刚石膜 
不同衬底上低温生长的ZnO晶体薄膜的结构及光学性质比较被引量:8
《真空科学与技术》2001年第1期5-8,共4页邱东江 吴惠桢 金进生 徐晓玲 
国家自然科学基金! (6 96 0 6 0 0 6 );浙江省自然科学基金资助项目
采用电子束反应蒸发方法 ,在单晶Si(0 0 1)及玻璃衬底上低温外延生长了沿c轴高度取向的单晶ZnO薄膜 ,并对沉积的ZnO晶体薄膜的结构和光学性质进行了分析比较。通过对ZnO薄膜的X射线衍射 (XRD)分析及光致荧光激发谱(PLE)测量 ,研究了衬...
关键词:电子束反应蒸发 结构 光学特性 氧化锌晶体薄膜 低温生长 
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