杨静

作品数：3被引量：8H指数：2
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供职机构：四川大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题：光刻部分相干光学光刻光刻分辨率滤波更多>>
发文领域：电子电信理学机械工程更多>>
发文期刊：《激光技术》《微细加工技术》《光子学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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部分相干分数域滤波改善光刻分辨率新方法被引量：3
《光子学报》2003年第7期892-895,共4页杜惊雷 张怡霄 杨静 刘世杰 肖啸 郭永康 杜春雷 
国家自然科学基金 (6 990 70 0 3);微细加工光学技术国家重点实验室的资助
基于部分相干成像和分数傅里叶变换 ,提出在投影光刻系统中 ,利用分数域滤波改善光刻图形质量的新方法 理论和模拟分析表明 :在曝光成像系统中的适当位置加入分数域滤波器 ,能增强滤波操作的灵活性和效果 ,可更有效地改善光刻图形质量 。
关键词：分数傅里叶域滤波 光学光刻 部分相干成像 瞳孔滤波 
“孔雀眼”波带片的长焦深特性研究
《激光技术》2003年第3期190-192,196,共4页杨静 高峰 谢世伟 肖啸 杜惊雷 
基于能量守恒原理 ,利用追迹法、计算机编码设计了用作长焦深元件的“孔雀眼”波带片。对其作为长焦深元件的两个重要参量———轴向光强分布和沿轴向一定范围内聚焦中心光斑大小的变化进行了模拟分析 ,得出了沿轴向一定范围内聚焦中心...
关键词：“孔雀眼”波带片 焦线 长焦深 
减小光刻中驻波效应的新方法研究被引量：5
《微细加工技术》2002年第4期36-39,44,共5页肖啸 杜惊雷 郭永康 杨静 谢世伟 
光刻过程中 ,抗蚀剂内部光敏混合物 (PAC)浓度受光场的影响呈驻波分布 ,导致抗蚀剂显影后的侧壁轮廓成锯齿状。分析了后烘 (PEB)对PAC浓度分布的影响 ,模拟了不同后烘扩散长度下的抗蚀剂显影轮廓 ,从模拟结果可知利用后烘可明显减小驻...
关键词：光刻 驻波效应 后烘 光敏混合物 模拟 
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