王长昊

作品数:1被引量:3H指数:1
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供职机构:哈尔滨理工大学更多>>
发文主题:薄膜晶体管紫外探测衬板场效应漏极更多>>
发文领域:电子电信更多>>
发文期刊:《哈尔滨理工大学学报》更多>>
所获基金:黑龙江省教育厅科学技术研究项目更多>>
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Al/ZnO/Ag肖特基二极管的制备与光电特性被引量:3
《哈尔滨理工大学学报》2012年第6期57-60,共4页王长昊 王东兴 王晓林 庞超 赵洪 
黑龙江省教育厅科学技术研究项目(12511120)
以Si(111)为衬底,采用射频磁控溅射与高温退火工艺制备ZnO薄膜.利用X射线衍射、扫描电子显微镜对ZnO薄膜进行表征及结构分析.结果表明,ZnO薄膜具有高度的C轴择优取向,样品表面光洁、平整.在此ZnO薄膜工艺条件下,在石英玻璃衬底上成功制...
关键词:紫外探测 肖特基二极管 ZNO薄膜 I-V特性 
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