肖倩

作品数：1被引量：4H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：亚半微米半导体器件光刻调平更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《电子工业专用设备》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
亚半微米投影曝光机的逐场调焦调平技术被引量：4
《电子工业专用设备》1997年第4期23-26,共4页肖倩 陈旭南 罗先刚 
介绍用于亚半微米分步重复投影曝光机的ＰＳＤ调焦调平、激光干涉调焦调平、多点高度测量传感和单光路多点检测等逐场调焦调平技术，较详细地阐述各技术原理、组成及能达到的精度，分析各种方法的优缺点和主要实用范围，为自主研制亚半...
关键词：亚半微米 投影曝光机 逐场调平 半导体器件 光刻 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部