马云飞

作品数：2被引量：6H指数：1
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发文主题：近红外光学镀膜光学薄膜膜厚监控锁相放大更多>>
发文领域：电子电信机械工程理学一般工业技术更多>>
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近红外光学膜厚监控系统的研制被引量：6
《半导体光电》2004年第6期469-473,共5页江绍基 马云飞 佘卫龙 王自鑫 朱析 蔡志岗 李宝军 
国家"863"计划资助项目 (2 0 0 3AA3 1 1 0 2 2 ) ;国家"973"计划资助项目 (2 0 0 3CB3 1 490 1 )
　在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控。运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀膜机可见光波段监控系统的基础上,研制了锁相放大器和改装近红外探头组成的近红外光学膜厚监控系统,...
关键词：近红外 光学薄膜 膜厚监控 锁相放大 
光学镀膜近红外膜厚监控的信号压噪
《光学仪器》2004年第2期99-104,共6页马云飞 王自鑫 江绍基 佘卫龙 朱析 蔡志岗 李宝军 
在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控。运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀膜机可见光波段监控系统的基础上,自行研制锁相放大器和改装近红外探头,成功地实现了近红外信号的压噪...
关键词：近红外 光学薄膜 膜厚监控 锁相放大 光学镀膜 压噪 
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