黄天源

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：苏州大学更多>>
发文主题：螺旋波螺旋波等离子体溅射沉积等离子体放电装置更多>>
发文领域：金属学及工艺理学核科学技术一般工业技术更多>>
发文期刊：《科学通报》《功能材料》更多>>
所获基金：国家自然科学基金苏州市科技计划项目国家大学生创新性实验计划江苏高校优势学科建设工程资助项目更多>>
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螺旋波等离子体合成SiON薄膜及其特性
《科学通报》2017年第19期2125-2131,共7页於俊 黄天源 季佩宇 金成刚 诸葛兰剑 吴雪梅 
国家磁约束聚变项目(2014GB106005;2010GB106000);国家自然科学基金(11175126;11375126;11435009;11505123)资助
采用不同比例的N_2/Ar螺旋波等离子体(HWP),对Si表面进行氮化处理合成SiON薄膜.X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS)结果显示,SiON薄膜主要由Si–O–N和Si–N键的两相结构组成.原子力显微镜结果表明氮化层光滑平整,...
关键词：螺旋波等离子体 SION 发射光谱 X射线光电子能谱 原子力显微镜 
CCP/ICP混合放电C_4F_8/Ar等离子体高、低频功率对AZO薄膜绒面效果的影响被引量：1
《功能材料》2013年第5期744-747,共4页吴明智 金成刚 王飞 黄天源 吴雪梅 诸葛兰剑 
国家自然科学基金资助项目(10575073);苏州市科技计划资助项目(SYJG0901);苏州大学2010年国家级大学生创新性实验计划资助项目(5731500910)
室温下,采用射频磁控溅射方法在石英基片上制备掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜。利用CCP/ICP混合放电C4F8/Ar等离子体对制得的AZO薄膜进行绒面处理。利用原子力显微镜(AFM)对薄膜表面形貌进行表征,利用光纤光谱仪分析放电产生的碳氟基团...
关键词：AZO CCP ICP 绒面结构 发射光谱 
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