云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 杨德顺

杨德顺: 作品数：1被引量：3H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：大连交通大学更多>>; 发文主题：薄膜热电偶磁控溅射测试软件激光器精密放大器更多>>; 发文领域：机械工程电子电信更多>>; 发文期刊：《功能材料》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金辽宁省自然科学基金更多>>

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切削刀具测温传感器SiO_2多层复合绝缘薄膜的制备及其性能表征被引量：3: 《功能材料》2009年第11期1850-1852,1856,共4页崔云先杨德顺孙宝元贾颖徐军; 国家自然科学基金资助项目(50675026);辽宁省自然科学基金资助项目(20062143);辽宁省教育厅高等学校科技计划资助项目(05L023); 利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术成功制备了切削刀具测温传感器的SiO2多层复合绝缘薄膜,研究了SiO2多层复合绝缘薄膜的制备工艺。通过扫描电镜、原子力显微镜、台阶仪和XPS对SiO2功能薄膜的表面形貌、膜厚及成分进...; 关键词：切削刀具测温传感器 SiO2绝缘薄膜多层复合磁控溅射