王智浩

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：华中科技大学更多>>
发文主题：纳米压印刻蚀串联型掩膜薄膜太阳能电池更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《无机材料学报》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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GaN基LED图形衬底的性能研究被引量：1
《无机材料学报》2013年第8期869-874,共6页李程程 徐智谋 孙堂友 王智浩 王双保 张学明 彭静 
国家自然科学基金(61076042;60607006);国家重大科学仪器专项(2011YQ16000205);国家863计划(2011AA03A106);华中科技大学校基金(HUST:2011TS119)~~
蓝宝石图形衬底可以降低外延位错密度并增强背散射光,已经成为制备高亮LED有效技术手段。本研究运用时域有限差分(FDTD)法模拟和比较了GaN基微纳米图形衬底LED几种衬底图形结构对光的提取效率的影响。模拟结果显示纳米图形衬底(NPSS)对...
关键词：GAN基LED FDTD 图形衬底 纳米压印 
用多层掩模去除纳米压印工艺中的残胶被引量：1
《光学精密工程》2013年第6期1434-1439,共6页陈鑫 赵建宜 王智浩 王磊 周宁 刘文 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2011AA010304)
纳米压印工艺中的压印胶在固化后会发生聚合物的铰链,生成高分子聚合物,很难被一般有机溶剂清除,从而影响器件的性能。为有效去除压印残胶,提出一种利用多层掩模去除残胶的方法。该方法首先在基片和压印胶之间沉积一层50nm的二氧化硅作...
关键词：纳米压印技术 分布反馈激光器 残胶 多层掩模 软模板 
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