鲍志勒

作品数：1被引量：2H指数：1
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平面工艺空间带电粒子探测器的研制被引量：2
《核电子学与探测技术》2005年第6期580-583,共4页谭继廉 靳根明 段利敏 王宏伟 袁小华 卢子伟 张金霞 鲍志勒 王柱生 李存璠 宁宝俊 田大宇 王玮 张录 高萍 王月 王世金 朱光武 梁金宝 
描述了用平面工艺+离子注入技术制备新型空间带电粒子探测器的工艺技术及器件的特性。探测器的灵敏层厚度为100、300、450和1000μm,灵敏面积为(?)8和(?)12mm等不同规格。在全耗尽偏压下,得到典型的反向漏电流范围为0.57-10.11nA,典型...
关键词：平面工艺 离子注入 空间 带电粒子 探测器 
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