龚发梅

作品数:1被引量:3H指数:1
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供职机构:西南交通大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题:DLC薄膜X射线光电子能谱XPS类金刚石薄膜拉曼光谱更多>>
发文领域:理学一般工业技术更多>>
发文期刊:《真空科学与技术学报》更多>>
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脉冲真空弧源沉积类金刚石薄膜耐磨特性研究被引量:3
《真空科学与技术学报》2004年第5期363-366,371,共5页徐禄祥 冷永祥 孙永春 龚发梅 张琦 杨萍 黄楠 
本文利用脉冲真空弧源沉积技术在Cr17Ni14Cu4不锈钢和Si(10 0 )基体上制备了类金刚石 (DLC)薄膜 ,研究在不同基体偏压下 ,DLC薄膜的结构与性能。采用拉曼光谱和X射线光电子能谱 (XPS)研究DLC薄膜的原子结合状态 ,利用CSEM销盘摩擦磨损...
关键词:DLC薄膜 类金刚石薄膜 原子 X射线光电子能谱(XPS) 脉冲 拉曼光谱 真空 薄膜硬度 基体 耐磨机理 
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