严谨

作品数：2被引量：5H指数：2
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供职机构：清华大学理学院化学系更多>>
发文主题：磁控溅射法ZRX射线衍射X射线光电子能谱俄歇电子能谱更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：表面物理与化学国家重点实验室开放基金国家创新方法工作专项更多>>
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真空环境中多场耦合对Au/Cu/Si薄膜界面结构的影响被引量：2
《真空科学与技术学报》2013年第8期766-770,共5页严楷 曹江利 姚文清 严谨 李展平 朱永法 
科技部创新方法工作专项(2009IM30500);江苏省大气环境监测与污染控制高技术研究重点实验室(南京信息工程大学)开放课题(KHK1114)资助
采用磁控溅射方法在Si基底上制备了Au/Cu薄膜。利用扫描俄歇微探针(SAM)纳米化分析技术进行表面成分分析与深度剖析,研究在真空环境中,紫外辐照、微氧氧含量及处理温度等因素作用对Au/Cu薄膜界面结构的影响。实验结果表明:环境温度的升...
关键词：薄膜 扫描俄歇微探针 真空环境 紫外辐照 微氧 迁移扩散 
Zr/Nb薄膜材料的制备及界面结构研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2011年第2期134-137,共4页姚文清 张立武 牟豪杰 张川 严谨 朱永法 杨江荣 刘柯钊 鲜晓斌 
表面物理与化学国家重点实验室基金项目(90000460200503)
通过直流磁控溅射法在单晶Si(100)基底上制备了Zr/Nb/Si薄膜材料。X射线衍射(XRD)研究表明Zr薄膜以多晶形式存在,而Nb薄膜则形成了(110)晶面择优生长。薄膜中Zr和Nb晶粒大小分别为14,6 nm。扫描电镜研究表明形成的薄膜表面平整光滑,没...
关键词：Zr/Nb/Si薄膜 磁控溅射法 界面 扫描电镜 X射线衍射 俄歇电子能谱 X射线光电子能谱 
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