周玉荣

作品数：2被引量：1H指数：1
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发文主题：硅薄膜热丝化学气相沉积光电选登光伏更多>>
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HWCVD低温制备超薄硼掺杂纳米晶硅薄膜
《人工晶体学报》2016年第8期2003-2010,共8页郭宇坤 周玉荣 陈瑱怡 马宁 刘丰珍 
国家重点基础研究发展计划(973计划)(2011CBA00705);青年教师科研启动基金(201524)
采用热丝化学气相沉积（HWCVD）技术在低温条件下（100℃）制备超薄（-30 nm）的硼掺杂硅薄膜。系统研究了氢稀释比例RH对薄膜的微结构和电学性能的影响。当RH由55增加至115,薄膜的有序度增加,晶化率升高,载流子浓度增加,暗电导率增加;...
关键词：热丝化学气相沉积 硅薄膜 硼掺杂 电学性能 
第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会优秀论文选登(八) 超高浓度钛掺杂硅薄膜的制备及光电特性研究被引量：1
《太阳能》2013年第1期18-21,共4页周玉荣 刘勇 刘丰珍 
国家重点基础研究发展计划;基于宽光谱利用的新型硅基薄膜吸收材料的基础研究(2011CBA00705)
将磁控溅射和热丝化学气相沉积相结合,制备出超高浓度钛掺杂的氢化非晶硅薄膜。通过光发射谱(OES)分析了热丝加热前后直流溅射辉光特性,结果表明热丝加热与否对直流溅射过程的影响不大。俄歇电子能谱显示钛在薄膜中是均匀分布的,改变磁...
关键词：硅薄膜 超高浓度钛掺杂 热丝化学气相沉积 
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