朱文娟

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非晶薄膜的硬度测量
《无机材料学报》1991年第3期380-381,共2页钟伯强 朱文娟 陆忠乾 
用努普(Knoop)压痕法测量了沉积在普通玻璃上的 ITO,SnO_2和非晶硅薄膜的硬度。在0.245N 负荷下测得它们的硬度分别是7232、7987和4929MPa。这些薄膜材料的硬度取决于薄膜制备方法和制备时的工艺条件,同时也与测量方法有关。不同衬底温...
关键词：ITO SNO2 薄膜 非晶硅 硬度 
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