江茂清

作品数：3被引量：3H指数：1
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供职机构：南昌航空大学测试与光电工程学院无损检测技术教育部重点实验室更多>>
发文主题：三维形貌表面等离子激元高斯干涉光刻光诱导更多>>
发文领域：理学机械工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《科技风》《光学精密工程》《光学学报》更多>>
所获基金：江西省自然科学基金无损检测技术教育部重点实验室开放基金江西省科技支撑计划项目国家自然科学基金更多>>
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菲涅耳微透镜芯模表面形貌的检测及加工误差分析被引量：1
《光学精密工程》2013年第5期1160-1166,共7页邹文栋 刘佳 王星星 江茂清 龚勇清 
国家自然科学基金资助项目(No.51241005);江西省自然科学基金资助项目(No.2008GZW0011;No.20122BAB202010);江西省科技支撑计划资助项目(No.20122BBE500040);无损检测技术教育部重点实验室开放基金资助项目(ZD200929002);南昌航空大学研究生创新基金资助项目(No.YC2011014)
采用扫描白光干涉法对菲涅耳微透镜芯模表面浮雕结构进行了检测,并对元件表面微观形貌进行了三维重建。根据其表面形貌数据,引入幅度参数表征法,分别计算出横向线宽误差以及样品的系统刻蚀深度误差和随机刻蚀深度误差等纵向加工偏差。...
关键词：菲涅耳微透镜 菲涅耳波带板 芯模 扫描白光干涉术 三维形貌 加工误差 
干涉高斯光诱导的表面等离子激元驻波场的分析被引量：2
《光学学报》2011年第10期219-224,共6页黄频波 邹文栋 郭斐 江茂清 
江西省自然科学基金(2008GZW0011)资助课题
考虑到实际入射光强的空间分布不均匀,基于Kretschmann模型并采用角谱方法分析模拟了两束高斯光干涉诱导表面等离子激元(SPP)驻波场。与理想平面波不同,高斯光诱导的SPP干涉条纹幅值大小不等,分布复杂,这表明光强空间非均匀程度会严重...
关键词：相干光学 干涉光刻 高斯光 表面等离子激元 
二元光学器件表面表征方法研究
《科技风》2011年第10期51-51,共1页王星星 邹文栋 江茂清 
无损检测技术教育部重点实验室开放基金(5/ZD200929002)
二元光学器件是一种表面微细结构组成的衍射光学元件,其制作工程中存在的加工误差主要有系统刻蚀误差、对准误差、随机台阶刻蚀深度误差、随机台阶刻蚀宽度误差等。其表面结构的形状及其偏差对其使用性能将产生严重的影响。探索出有效...
关键词：二元光学器件 幅度参数 表征法 
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